SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪

我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。

SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控，可以提高效率、保证晶圆制造的一致性，以满足更高的良率和容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中，如果不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性，晶圆的制造成本将大大提高。

我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。

监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。

• 增加工具产量

• 降低化学品成本

• 实时过程监控

• 降低批量损失

• 降低所有者成本

• 多个样本点

• 额外的5 mL数字滴定管

• 附加传感器

• 安全联锁装置

• 试剂低液位检测

• 铜化学机械抛光

• 钨化学机械抛光

• 湿法蚀刻

• 清洁

• DSP+

• 氮化物蚀刻

• PAN蚀刻

• 食人鱼蚀刻

• HF

• 4个4-20 mA 模拟输出

• 8个可编程继电器

• 以太网和 RS232 串口

• 彩色触摸屏

• 集成试剂储存

• 单采样点

• 1个5mL数显滴定管

• 多个传感器输入

分析方法	电位法/标准加入法/光度法
精确度¹	±0.2%显示值
误差度¹	0.2%相对误差
测量时间	少于5分钟/分析(取决于应用)
校准频率	自开始起²
样品消耗量	小于 5 mL/次
样品量	0.05 至 5 mL（取决于应用）
样品温度	低于93℃(200℉)
耗水量	少于1000mL/次
样品入口/返回	小于30 psi
	0.5升/分钟
	1/4”外径扩口接头
	1”FPT 密封联轴器
去离子水	20-40 psi
	2升/分钟
	1/4”外径扩口接头
CDA	60-80 psi
CDA	1/4”外径快速接头
过程排放	3/4”NPT 重力排放
机箱排水	1/2”NPT 重力排放
电源	110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 现场可切换
排水	1 7 /8” OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00”H x 27.00”W x 16.00”D

¹仅指“硬件”。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度。

²这不包括 pH 传感器的校准。有关详细信息，请参阅安装和操作手册。Entegris 相信此处包含的数据是真实的，所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法，这些数据不应被视为 Entegris 承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用都必须由用户决定，以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改，恕不另行通知。